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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：泰諾多通道流量計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TN-GSL-LCD
  • 產(chǎn)品廠(chǎng)商：泰諾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
TN-GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜*大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
詳情介紹：

○ 產(chǎn)品介紹

 TN-GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜*大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線(xiàn)和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。


○ 適用范圍

 廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。


○ 技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45oC  
*大壓力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度：5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC
*大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶(hù)要求定制

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

機(jī)械壓力表

 

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 
Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)


○ 免責(zé)聲明

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